針對異質(zhì)結(jié)太陽電池量產(chǎn)研發(fā)，提供如下圖所示熱絲CVD主工藝機(jī)臺、上下料自動化整體方案，并可配套24.7%效率的baseline工藝。該方案特點(diǎn)：鍍膜順序可任意調(diào)整；每層膜的載板完全獨(dú)立，無交叉污染；可達(dá)到最優(yōu)的膜層性能。

　?。▓D片僅供參考）

設(shè)備基本情況如下：
　　?  設(shè)備由4臺熱絲CVD鍍膜設(shè)備和1套自動化上下料系統(tǒng)構(gòu)成；
　　?  4臺設(shè)備分別可以進(jìn)行P、I、I、N型非晶硅/微晶硅/摻氧微晶硅膜的制備；可根據(jù)要求再額外配置其它的氣路。
　　?  每臺設(shè)備有1個載板上下料的掛架、1個Load/Unload腔體、1個鍍膜工藝腔構(gòu)成；
　　?  單個載板可以放置9片尺寸為156-182mm之間的硅片。
　　?  可根據(jù)客戶需要，任意調(diào)整鍍膜的順序、膜厚、層數(shù)等；
　　?  可根據(jù)用戶需求調(diào)整腔體個數(shù)等方案。
　　?  可以編輯工藝菜單，實(shí)現(xiàn)由花籃上料到花籃下料的全過程自動控制；也可手動控制。
　　?  每天（8小時）可完成400片以上的異質(zhì)結(jié)用硅薄膜鍍膜。
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